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pvd電弧深黑技術

電弧法一般無法實現深黑色的鍍層,只能鍍到深灰。采用電弧深黑技術可以實現深黑電弧鍍層。

  • 適于低成本鍍制深黑色膜層
  • 在五金衛浴門鎖領域有著廣闊的應用前景

pvd離子過濾

電弧法的離子顆粒較大,采用離子過濾技術可以大幅改善膜層質量。

  • 濾除大顆粒和原子團
  • 實現鏡面膜

pvd比例給氣自動流量控制器

比例給氣自動流量控制器的PVD設備會讓生產更加得心應手。

  • 預定加減氣體函數。
  • 實現漸進給氣

pvd數控節流閥

節流閥采用微電腦控制的步進電機,主要有如下優點:

  • 節流閥在0~90度任意可調
  • 控制角度精確,工藝穩定
  • 數據設置操作簡單

 

實驗室專用小型鍍膜機

1 SA0505-A4 型離子鍍膜機是一臺專為學校和科研單位研發的小型離子鍍膜設備,可用于各種PVD試驗。

2 該機為特別開發的實驗室專用機。

技術指標

鍍膜室尺寸:Φ500 mm X H 500 mm

極限真空度:優于<5.3×10-4Pa

排空時間:(冷態,包括工件架)從大氣抽至6.6 x 10-3 Pa時間〈 20min

等離子體加速器離化源數:4個

采用最新開發的五極離化源:確保顆粒細膩;幅射均勻;高真空穩弧 。

技術特征:

  • 內置加速電場

  • 恒定高斯的水平磁場

  • 直接水冷(或間接水冷)

  • 自動引弧

  • 快速續弧

  • 采用自穩弧電源

工件架直流負偏壓電源:20 KVA。

采用我公司獨有的工具鍍專用偏壓電源 ,具有特殊保護電路和快速滅弧裝置。

  • 20KW配6弧設備使用,每弧分配功率高達3KW。裝滿爐,開全靶,1 KV 齊轟輕松自如

  • 特定函數波形輸出,徹底消除危害性弧光

  • 數字邏輯控制,準確無誤

  • 調制電壓的主弧轟擊,場能強大

  • 輔助的快速恢復功能,減少活化時間

工件架轉速 額定值:公轉轉速4r/mim,自轉轉速15r/min。

  • 變頻調速,無級漸變,緩起緩停,可換向

  • 負重40KG

供氣系統:兩路(可選配三路或四路)比例給氣自動質量流量控制.

流量500—1000 SCCM 每路

  • 自動跟隨真空室壓強,自動調節進氣量

  • 每路氣均有質量流量顯示

  • 無需混氣罐,調節無滯后

  • 預設比例,總量自動或手動均可

  • 預設強置換功能,生成起步氣沖

加熱器輸出功率0-18KW

壓強控制:節流閥;自動壓強調節

設備總功率: 50KVA,380V,三相四線制

溫度測量方式:熱電偶

表面測溫方式:紅外測溫儀(選購件)

設備總功率:110KVA max,380伏、三相四線制

設備總重:2t

設備占地面積:2m X 3m

冷卻水流量:2.5t/hr(進水溫度25攝氏度以下,壓力2KG/CM 2)

pvdπ形轉靶

 

  • 節省鍍膜時間
  • 實現定向鍍膜

pvd石墨弧靶

 

  • 解決石墨靶鉆弧滅弧問題
  • 可以鍍制電弧法DLC

pvd線形離子源

 

  • 氣體離化
  • 工件刻蝕輔助清洗

pvd離子滲透

 

  • 聯合ARC沉積基礎
  • 模具性能壽命顯著倍增

pvd大功率偏壓電源

 

  • 自動生成閥值,無需經常調節
  • 函數波形輸出,起弧可能減至最小
  • 數字邏輯控制,準確無誤
  • 調制電壓的主弧轟擊,功力強勁

pvd引孤系統改造

 

  • 自動引弧
  • 快速續弧
  • 不粘弧
  • 相鄰弧源互相幫助